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眾所周知，目前全球僅有一家廠商，能夠生產EUV光刻機，它就是荷蘭的ASML。

而之所以全球僅此一家，這是因為ASML將很多關鍵的廠商捆綁在了一起，比如德國光學公司蔡司（Zeiss），再比如美國的Cymer，再比如德國的通快集團（TRUMPF）等。

(資料圖)

ASML通過投資、收購、占股，建立研究中心等等方式，將這些廠商綁在了自己的戰車上，而這些廠商，可能是全球唯一能夠生產這些產品的廠商，所以最終全球僅ASML一家能夠生產EUV光刻機。

不過，近日，ASML的一家關鍵供應鏈，跑到中國深圳來建廠了，其深圳子公司落戶寶安中德（歐）產業示范園。

這家廠商就是德國的通快集團（TRUMPF），它是ASML的EUV光刻機中，全球唯一一家激光源供應商。

TRUMPF的產品在EUV光刻機中，有多重要？先聽我說一下EUV光刻機的原理，大家就懂了。

EUV光刻機的原理，說起來很簡單，核心是三大系統，EUV紫外線光源系統、物鏡系統、工作臺系統。

具體的過程是利用激光器激發出13.5nm波長的極紫外線，然后經過矯正后形成一束可控的光，再將這一束光投射到光掩膜臺后，再經過物鏡投射到曝光臺，最后在涂了光刻膠的硅晶圓上蝕刻出電路。

其中EUV紫外線光源系統是如何得到的，是用30千瓦功率的二氧化碳激光器轟擊錫（Sn）金屬液滴，將其蒸發成等離子體，最后獲得13.5nm波長的EUV光線。

其中這個30千瓦的二氧化碳激光器就是TRUMPF提供的，全球僅此一家。

別小看了這個二氧化碳激光器，它有457,329個部件，系統內的線纜長度高達7,322米，重量更是達到了17,090千克，是EUV光刻機中，最重要的核心元件之一。

如今TRUMPF跑到中國來建廠，意圖很明顯，那就是看好中國的激光市場，甚至更長遠一點來看，看好中國光刻機市場，未來有可能和中國合作造出EUV光刻機。

事實上，目前已經不只一家ASML的供應鏈跑到中國來建廠了，之前還有KMWE等廠商，也到中國來建廠了。

按照現在這種趨勢，我們可以樂觀的預計一下，說不定要不了多久，中國的光刻機技術會大進一步，甚至量產出EUV光刻機，也是可以期待一下的，你覺得呢？

原文標題:重磅！ASML的EUV光刻機中，全球唯一激光器供應商，落戶深圳

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